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MEB-600型: 多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控

名称:MEB-600型: 多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控

详细信息



应用方向:科研与教学

产品优势:多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控 

产品配置:

样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)

蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

蒸发腔体:高真空系统。

蒸发不均匀性:≤±3%-±5%

工件架:可旋转,转速可调

加热:常规加热

电子枪:E型,带XY偏转扫描

电子枪坩埚:6穴,17cc

膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制

清洗功能:可选配离子源清洗

器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤

检测与控制光学特性功能:可选配光控仪

操作模式:全自动+半自动控制

类似产品: 大样片蒸发镀膜(MEB-800)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

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