欢迎光临北京创世威纳科技有限公司官方网站!

北京创世威纳科技有限公司

Beijing Chuangshiweina Technology Co., LTD.

产品中心

联系我们

座机:010-62907051

电话:139-1055-5133

销售部电话:
010-62907051-829/830



地址:北京市昌平区回龙观北京国际信息产业园高新二街2号4层

感应耦合等离子体刻蚀机

ICP-601型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体刻蚀机

名称:ICP-601型: 耐氟基或更弱腐蚀性气体刻蚀机

详细信息

应用方向:科研与教学

产品优势:耐氟基或更弱腐蚀性气体

产品配置:

★样片数量及尺寸:1片Ф6英寸

★刻蚀材料:包括并不限于单晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等

★刻蚀腔体:高真空系统

★刻蚀不均匀性:±3%-±6%

★刻蚀速率:0.1-4μm/min(视具体材料与工艺)

★工作台:可升降,包含水冷

★电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

★气路数量与种类:6路耐氟基腐蚀气路 或 用户选配

★深硅刻蚀系统:可选配

★He冷背吹系统:可选配

★终点检测控制:可选配质谱仪

★操作模式:全自动+半自动控制

类似产品:带单片送样室(ICP-5100)带单片送样室耐氯气腐蚀(ICP-5101)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

联系我们

北京创世威纳科技有限公司

地址:北京市昌平区回龙观

联系电话:13910555133

座机:010-62907051-829/830

传真:010-62999722

官方微信公众平台

官方微信公众平台

版权所有 @ 2019 北京创世威纳科技有限公司 备案号: 京ICP备09010696号-1